全球领先的移动机器人解决方案提供商优艾智合（YOUIBOT）近日宣布，其专为半导体行业打造的基于 AMHS（Automated Material Handling System，自动物料搬运系统）的洁净室自动化物流解决方案，已在全球实现规模化部署，服务客户超 300 家，其中不乏台积电、中芯国际、华天科技等全球半导体龙头企业。此方案覆盖从衬底制备、外延生长、晶圆制造到封装测试的全产业链环节，成为推动半导体智能制造发展的关键力量。

半导体制造作为科技产业核心，生产过程对洁净度、精度和稳定性有着严苛要求。传统人工物料搬运方式效率低，且易引入污染与误差。优艾智合凭借自主研发的高精度 SLAM 导航技术与复合机器人系统，借助 AMHS 成功攻克半导体制造中的物流自动化难题。其 AMR（自主移动机器人）产品可在 Class 1 超净环境中稳定运行，振动值严格控制在 0.1g 以下，满足晶圆级微震动抑制要求，同时通过 CE 和 SEMI S2 国际认证，操作精度可达 ±1mm 。

优艾智合基于 AMHS 的解决方案，不仅硬件性能卓越，还搭载自主研发的 Fleet 调度系统。该系统支持多机型、多场景协同作业，可同时调度 1000 台以上机器人，实现高效路径规划与动态任务分配。另外，系统支持可视化编程和地图编辑功能，能依据生产需求快速调整物流路线，支持地图扩建、补建和局部重建，极大提升了生产线的灵活性与可扩展性。

在实际应用中，优艾智合的 AMR 系统已成功进驻多家全球知名半导体企业生产线。比如在某国际头部晶圆厂的 8 寸晶圆车间，优艾智合利用 50 + 台 OW8 晶圆盒搬运机器人，借助 AMHS 实现了 SMIF POD 在光刻机、蚀刻机、CMP 等设备间的自主流转，取代传统人工搬运方式。该项目大幅降低人力成本，显著提升物料处理效率，为工厂 7×24 小时连续生产提供可靠保障。

优艾智合创始人表示：“半导体行业正处于智能化升级的关键机遇期，我们致力于通过创新的机器人技术和智能物流解决方案，助力客户实现稳定、柔性、高效的生产运营。未来，我们也将持续深耕半导体领域，加速全球半导体制造的智能化转型进程。”